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コンプリメンタリ分割でパターンが分割された部分に露光時に隙間が生じないように、つなぎ目部分に糊代用の補助図形を付加します。補助図形の形状は次の2 種類です。
(1) 矩形 (2) 台形
・補助図形は、真っ直ぐな棒状部分で切られた場合にのみ付加します。
・補助図形の形状は、切断面の長さ毎に指定します。
・補助図形は、両側の先端を指定長さの1/2 づつ伸ばします。
・T字、L字部分を切った場合には、棒側の先端を指定長さ分伸ばします。
水平な切断面側には補助図形付加をしません。
この他に、細長い図形の端の部分を伸長する処理も指定できます。 |
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マスクの応力歪みによるパターンの位置ずれを予め予測して、マスク上に配置するパターン位置を補正します。補正は次の2 つのケースについて行います。
・グローバル歪み・・・マスクの自重によるたわみ、マスク描画時と露光時の反転などによる位置ずれ
・ ステンシルマスク開口による歪み・・・パターン開口からくるメンブレン内の応力分布による位置ずれ |
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