通信制御、画像処理、半導体関連をはじめとする制御系全般の開発を手がける日本コントロールシステム株式会社
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PATACON PC-cluster
PATACON PC-clusterPEC optionfor EPLfor LEEPLfor EBDW

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サポートするフォーマットと概略機能

下記機能名称をクリックすると、詳細が表示されます。

>> ミラー / 回転
>> 移動 / 拡大・縮小
>> 繰り返し配列
>> 矩形領域の切り出し・切り捨て
>> 白黒反転
>> 論理演算
 
>> ベリファイ
>> サイジング
>> 微小図形解消処理
>> ショット数削減処理
>> ファジーバウンダリ処理
>> データ圧縮 (階層構造抽出)
 
>> 開口率計算
>> MRC (DRC)
>> 測長箇所 (CD)の自動抽出
近接効果補正*
一括露光用データ自動抽出機能*
*はオプションです。



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