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パターンドメディアテンプレート描画用フォーマッタ
 

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次世代BPMフォーマットのテンプレート描画に対応
PCや携帯用小型機器等のIT機器の高機能化・高速化・小型化は、年々進化し続けています。ハードディスク(HDD)の小型大容量化に関しても同様で、現在では、1TB/in2以上の記録密度が要求されています。

磁気記録媒体の超高密度化では媒体ノイズが問題ですが隣接するビットを物理的に分離させるパターンドメディア技術により、この媒体ノイズを減少させる事が可能です。

NCS フォーマッタ (FMTR-1000)は、次世代HDDパターンドメディアテンプレート描画用のフォーマッタシステムであり、回転ステージ電子ビーム描画装置によるBPMフォーマットのテンプレート描画に対応し、高精度な描画をサポートします。

パターンドメディアテンプレート描画用フォーマッタ FMTR-1000


製品の特徴
1 高速、高精度な信号出力
基準クロックを元にしたデジタル回路による高速、高精度な信号出力を備えています。エンコーダパルスとのPLL処理が不要なため出力信号ジッタを抑えることが可能です。出力信号タイミング、信号長をソフトウエアで演算することにより様々な描画方法に対応可能です。
 
2 プログラマブルなパターン生成
サーボ情報の簡易パラメータ設定によるBPMに対応した描画パターンの生成が可能です。各種サーボパターン、複数ゾーン、可変トラックピッチに対応しています。また新しいサーボパターンの追加にもソフトウエアのバージョンアップにより柔軟に対応可能です。
3 ビューア機能
テンプレート全体表示、セクタ拡大表示機能を備え、サーボ情報設定後のサーボパターン、Skew の事前確認が可能です。またビューア上から電子ビーム近接効果シミュレーション機能を実行して描画イメージを確認することが出来ます。
 
4 近接効果補正
テンプレート描画時の電子ビーム近接効果のシミュレーション/補正機能を備えています。パターン形状、コントラストのシミュレーションによる確認が可能です。また補正機能では描画パターンのリサイズおよびステージの回転速度制御による近接効果補正に対応します。

システム構成
NCS製フォーマッタは制御用PCとフォーマッタユニットから構成されています。
システム構成図

ビューア
サーボパターン,Skew の事前確認が可能なビューア機能です。ディスク全体を円盤状の配置で表示するテンプレート表示モードとセクター部分を水平方向配置で表示するセクター表示モードがあります。高速な拡大、縮小表示が可能です。
ビューア

近接効果補正
スポットビームの描画軌跡における蓄積エネルギー計算を行い、各パターン毎に最適な補正パラメータを求めます。各パターンの補正はリサイズ(ビーム照射時間調整)、バイアス(描画軌跡の径方向シフト)に対応します。また回転ステージ速度制御による補正も可能です。
近接効果補正

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